电热和电磁处理装置基本技术条件 第417部分：碳化硅单晶生长装置

国家标准《电热和电磁处理装置基本技术条件 第417部分：碳化硅单晶生长装置》 由TC121（全国工业电热设备标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国电器工业协会。