掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程

国家标准《掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。