重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法

国家标准《重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。