标准摘要
国家标准《硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。
英文名称Test method for measuring resistivity of monocrystal silicon—In-line four-point probe and direct current two-point probe method