GB/T 16596-1996 废止

确定晶片坐标系规范

标准摘要

国家标准《确定晶片坐标系规范》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。
英文名称Specification for establishing a wafer coordinatesystem

替代关系

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