非掺杂半绝缘砷化镓单晶深能级EL2浓度红外吸收测试方法

国家标准《非掺杂半绝缘砷化镓单晶深能级EL2浓度红外吸收测试方法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。