半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法

国家标准《半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。