标准摘要
国家标准《表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法》 由TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。
英文名称Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials