半导体设备可靠性、可用性和维修性（RAM）的定义和测量规范

国家标准《半导体设备可靠性、可用性和维修性（RAM）的定义和测量规范》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。