标准摘要 国家标准《半导体设备可靠性、可用性和维修性(RAM)测量方法》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 展开完整摘要 英文名称Test method for semiconductor equipment reliability, availability and maintainability(RAM)