硅晶片表面超薄氧化硅层厚度的测量 X射线光电子能谱法

国家标准《硅晶片表面超薄氧化硅层厚度的测量 X射线光电子能谱法》 由TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。