标准摘要
国家标准《洁净室及相关受控环境 第12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求》 由TC319(全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会)归口,TC319SC1(全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会纳米受控环境分会)执行 ,主管部门为国家标准委。
英文名称Cleanrooms and associated controlled environments—Part 12: Specifications for monitoring of air cleanliness by nanoscale particle concentration