标准摘要
国家标准《洁净室及相关受控环境 第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁》 由TC319（全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。
英文名称Cleanrooms and associated controlled environments—Part 13: Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical classifications