标准摘要
国家标准《洁净室及相关受控环境 第14部分:按粒子浓度评估设备适用性》 由TC319(全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。
英文名称Cleanrooms and associated controlled environments—Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration