标准摘要
国家标准《洁净室及相关受控环境 第15部分: 按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性》 由TC319(全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。
英文名称Cleanrooms and associated controlled environments—Part 15: Assessment of suitability for use of equipment and materials by airborne chemical concentration