标准摘要 国家标准《洁净室及相关受控环境 第17部分：粒子沉积速率应用》 由TC319（全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。 展开完整摘要 英文名称Cleanrooms and associated controlled environments—Part 17: Particle deposition rate applications