GB/T 25915.6-2010 现行

洁净室及相关受控环境第6部分：词汇

标准摘要

国家标准《洁净室及相关受控环境第6部分：词汇》由TC319（全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

英文名称Cleanrooms and associated controlled environments - Part 6: Vocabulary