标准摘要 国家标准《洁净室及相关受控环境 第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级》 由TC319(全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 展开完整摘要 英文名称Cleanrooms and associated controlled environments—Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration