利用Si（111）晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法

国家标准《利用Si（111）晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法》 由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。