标准摘要 国家标准《表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定》 由TC608(全国表面化学分析标准化技术委员会)归口 ,主管部门为中国科学院。 展开完整摘要 英文名称Surface chemical analysis - Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy - Determination of lateral resolution