标准摘要 国家标准《表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量》 由TC608(全国表面化学分析标准化技术委员会)归口 ,主管部门为中国科学院。 展开完整摘要 英文名称Surface chemical analysis - Depth profiling - Measurment of sputtered depth