GB/T 29852-2013 现行

光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法

标准摘要

国家标准《光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。
英文名称Test method for measuring Phosphorus, Arsenic and Antimony in silicon materials used for photovoltaic applications by secondary ion mass spectrometry

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