标准摘要
国家标准《表面化学分析 硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定》 由TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。
英文名称Surface chemical analysis―Chemical methods for the collection of elements from the surface of silicon-wafer working reference materials and their determination by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy