椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法

国家标准《椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法》 由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。