扫描隧道显微术测定气体配送系统部件表面粗糙度的方法

国家标准《扫描隧道显微术测定气体配送系统部件表面粗糙度的方法》 由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。