俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则

国家标准《俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。