硅粉 总碳含量的测定 感应炉内燃烧后红外吸收法

国家标准《硅粉 总碳含量的测定 感应炉内燃烧后红外吸收法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。