GB/T 32652-2016 现行

多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料

标准摘要

国家标准《多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。
英文名称Fused quartz used for quartz ceramic crucibles for casting polycrystalline silicon

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