标准摘要 国家标准《多晶硅 痕量元素化学分析 辉光放电质谱法》 由TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。 展开完整摘要 英文名称Polycrystalline silicon—Determination of trace elements—Glow discharge mass spectrometry method