玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪法

国家标准《玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪法》 由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口，TC279SC1（全国纳米技术标准化技术委员会纳米材料分会）执行 ，主管部门为中国科学院。