GB/T 34178-2017 现行

光掩模石英玻璃基板

标准摘要

国家标准《光掩模石英玻璃基板》 由TC447(全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会)归口 ,主管部门为中国建筑材料联合会。
英文名称Silica glass substrates for photomask

替代关系

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