标准摘要
国家标准《表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度的测量方法》 由TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。
英文名称Surface chemical analysis—Depth profiling—Methods for ion beam alignment and the associated measurement of current or current density for depth profiling in AES and XPS