标准摘要
国家标准《低位错密度锗单晶片腐蚀坑密度（EPD）的测量方法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。
英文名称Test method for measuring etch pit density (EPD) in low dislocation density monocrystalline germanium slices