GB/T 34649-2017 现行

磁控溅射用钌靶

标准摘要

国家标准《磁控溅射用钌靶》 由TC243(全国有色金属标准化技术委员会)归口,TC243SC5(全国有色金属标准化技术委员会贵金属分会)执行 ,主管部门为中国有色金属工业协会。
英文名称Magnetron sputtering ruthenium target

替代关系

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