标准摘要
国家标准《X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告》 由TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。
英文名称Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry—Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting