含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型

国家标准《含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型》 由TC159（全国自动化系统与集成标准化技术委员会）归口，TC159SC5（全国自动化系统与集成标准化技术委员会体系结构、通信和集成框架分会）执行 ，主管部门为中国机械工业联合会。