基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法

国家标准《基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法》 由TC153（全国电子测量仪器标准化技术委员会）归口 ，主管部门为工业和信息化部（电子）。