GB/T 40109-2021 现行

表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法

标准摘要

国家标准《表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法》 由TC608(全国表面化学分析标准化技术委员会)归口 ,主管部门为中国科学院。
英文名称Surface chemical analysis—Secondary-ion mass spectrometry—Method for depth profiling of boron in silicon

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