表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染

国家标准《表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染》 由TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。