标准摘要 国家标准《微系统用生产设备 末端执行器与处理器的接口》 由TC22(全国金属切削机床标准化技术委员会)归口 ,主管部门为中国机械工业联合会。 展开完整摘要 英文名称Production equipment for microsystems—Interface between end effector and handling system