集成电路用低密度晶体原生凹坑硅单晶抛光片

国家标准《集成电路用低密度晶体原生凹坑硅单晶抛光片》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。