光学元件表面疵病定量检测方法 显微散射暗场成像法

国家标准《光学元件表面疵病定量检测方法 显微散射暗场成像法》 由TC103（全国光学和光子学标准化技术委员会）归口，TC103SC5（全国光学和光子学标准化技术委员会光学材料和元件分会）执行 ，主管部门为中国兵器工业集团公司。