标准摘要 国家标准《纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法》 由TC279(全国纳米技术标准化技术委员会)归口 ,主管部门为中国科学院。 展开完整摘要 英文名称Nanotechnology—Fabrication of three dimensional nanostructures and devices—A strain method induced by ion beam irradiation