标准摘要
国家标准《表面化学分析 扫描探针显微术 采用扫描探针显微镜测定几何量:测量系统校准》 由TC608(全国表面化学分析标准化技术委员会)归口 ,主管部门为中国科学院。
英文名称Surface chemical analysis—Scanning probe microscopy—Determination of geometric quantities using SPM: Calibration of measuring systems