碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法

国家标准《碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。