GB/T 42907-2023 现行

硅锭、硅块和硅片中非平衡载流子复合寿命的测试 非接触涡流感应法

标准摘要

国家标准《硅锭、硅块和硅片中非平衡载流子复合寿命的测试 非接触涡流感应法》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准委。
英文名称Test method for excess-charge-carrier recombination lifetime in silicon ingots, silicon bricks and silicon wafers—Noncontact eddy-current sensor

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