微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法

国家标准《微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法》 由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。