碳基薄膜 椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能

国家标准《碳基薄膜 椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能》 由TC57（全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会）归口，TC57SC10（全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会气相沉积分会）执行 ，主管部门为中国机械工业联合会。