III族氮化物半导体材料中位错成像的测试 透射电子显微镜法

国家标准《III族氮化物半导体材料中位错成像的测试 透射电子显微镜法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。