标准摘要 国家标准《半导体器件 栅介质层的时间相关介电击穿(TDDB)试验》 由TC78(全国半导体器件标准化技术委员会)归口 ,主管部门为工业和信息化部(电子)。 展开完整摘要 英文名称Semiconductor devices—Time dependent dielectric breakdown (TDDB) test for gate dielectric films